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5根硅芯炉 多晶硅 生产硅芯 单次五根 一炉十五根 硅芯炉
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- 产品特性
经过长期的研究和实践，在传统硅芯炉的基础上，我公司成功研发了一次可提拉多根硅芯的JN-FZ-400-5型硅芯炉。该设备的成功运行，是半导体材料行业一个历史性突破，填补了国家空白，处于{sjlx}地位。
JN-FZ-400-5型硅芯炉的基本性能参数
1、原料规格 Φ75～82mm×530mm
2、成品规格 Φ7～12mm×2500mm
3、产能 15stick/time
4、上轴快速升降速度 0～800mm/min
5、上轴慢速升降速度 0～25mm/min
6、上轴有效行程 2500mm
7、下轴快速升降速度 0～330mm/min
8、下轴慢速升降速度 0～5mm/min
9、下轴{zd0}行程 6000mm
10、下轴旋转速度 0～12rpm
11、真空度 ≦3Pa
12、高频感应加热电源 2～2.5MHz
上轴有效行程基本尺寸为2500mm，可根据客户需求，在2000mm～3000mm之间进行调整。
