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青岛福盟微电子半导体行业真空炉-高性能F
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- 产品特性
从结构上分为卧式、立式、箱式，从真空度上分为低真空、高真空，从使用温度上分为低温、高温，从真空室材料上分为石英管、耐热
不锈钢管，从真空获得上分机械泵、机械泵＋扩散泵、机械泵＋分子泵。
设备用途：广泛用于电力电子器件、玻封二级管、气体放电管、磁性材料、热敏电阻等器件的真空烧结、封装、焊接、合金、退火等工艺。
主要技术指标：
★工位： 单、双、三工位
★工作温度： 300～1100℃（不锈钢真空室{zg}1000℃）
★真空度： 优于5×10-3 Pa
★真空室直径：Φ150～300 mm
★恒温区长度：400～1000 mm
★控制精度： ±1.0～3.0℃
★炉体移动速度：0～400 mm/min
★{zd0}充气压力：0.5 MPa （不锈钢真空室）
★加热功率： 10～80 KVA
★控制系统： 进口仪表＋PLC＋触摸屏
★安全连锁保护：超温、断偶、缺水、压力异常保护报警
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